拋光液的性能直接影響到拋光后工件的表面質量，是雙面拋光的關鍵要素之一。拋光液一般包括超細的固體磨粒(如納米A120及Si0磨粒等)、表面活性劑以及氧化劑和穩定劑等幾部分，其中固體磨粒產生切削作用，去除發生化學變化需要切除的部位，氧化劑產生化學腐蝕溶解作用，溶解切屑。

　　在拋光過程中，拋光液中磨粒的種類、形狀、大小、濃度、化學成分、PH值、粘度、流速和流動的途徑都會對去除速度產生影響。

　　對不同材料的工件進行拋光時，所需要拋光液的成份、PH值也不盡相同同。PH值影響工件的表面質量和去除率表現在對磨料的分解與溶解度、被拋表面刻蝕及氧化膜的形成、縣浮度(膠體穩定性)等方面，因此需要嚴格控制拋光液的PH值。

　　當處于拋光氧化物時，拋光液一般選取:作為磨料，PH值控制在10以上；而拋光金屬時，拋光液一般選用酸性的，保證PH值在較小的數值，以便保持極高的工件去除率。

　　磨粒按硬度可分為軟磨粒和硬磨粒兩類。常用的磨粒包括氧化鋁系、碳化物系、超硬磨料系和軟磨料系4類。拋光用磨粒需具有下列性能：

　　1)磨粒形狀和尺寸均勻一致，保持在一定范圍。

　　(2)磨粒的熔點要比工件的熔點高。

　　(3)磨粒能適當地破碎，使切刃變鋒利。

　　(4)磨粒在拋光液中容易分散。

　　一般情況下，當磨粒硬度以及尺寸增加時，工件去除率增加，但是同時劃痕增加，工件的表面質量下降而磨粒的尺寸過小時又容易產生凝聚成團的現象，增加工件表面劃痕。

　　當拋光液中磨粒的濃度增加時，工件去除率也隨之增加，但當磨粒的濃度達到某一數值時，工件去除率也將停止增加，維持在某一常數，這種現象稱為材料去除飽和，但是由于磨粒濃度增加，工件表面的劃痕反而增加，表面質量下降。